近日，全球精密測量與控制解決方案品牌雅斯科ASHCROFT，正式推出針對半導(dǎo)體先進制程的超高純潔凈壓力監(jiān)測成套方案，依托HPX28超高純袖珍壓力表與ZT61高精度數(shù)顯壓力變送器的軟硬件組合，解決半導(dǎo)體特氣輸送、制程壓力管控中的潔凈度、穩(wěn)定性與數(shù)字化監(jiān)測難題，為晶圓制造蝕刻、薄膜沉積、離子注入等核心工序筑牢工藝安全防線。

隨著半導(dǎo)體制程向7nm及以下先進工藝迭代，超高純（UHP）工藝氣體的輸送穩(wěn)定性、潔凈度與密封性已成為制約晶圓良率提升的核心關(guān)鍵。半導(dǎo)體氣柜、VMB/VMP氣體分配模組、管路輸送系統(tǒng)存在安裝空間緊湊、微量雜質(zhì)易析出、壓力微波動敏感、泄漏風(fēng)險隱蔽等行業(yè)痛點，傳統(tǒng)監(jiān)測設(shè)備易產(chǎn)生顆粒污染、測量漂移、無法兼顧現(xiàn)場巡檢與遠程自控，難以匹配ISO Class5潔凈室及SEMI行業(yè)嚴苛標準。針對這一行業(yè)剛需，雅斯科基于數(shù)十年精密測量技術(shù)積淀，打造一體化雙維度壓力監(jiān)測解決方案，實現(xiàn)人工就地點檢與自動化遠程管控的閉環(huán)覆蓋。

據(jù)了解，本次推出的成套方案由兩款專業(yè)化超高純測量設(shè)備協(xié)同組成，精準匹配半導(dǎo)體全流程潔凈工況，從硬件材質(zhì)、工藝處理到性能參數(shù)均對標高端半導(dǎo)體制程要求。

其中

HPX28 超高純袖珍壓力表

半導(dǎo)體氣柜、氣體模組管線排布密集，安裝空間有限，雅斯科HPX28采用28mm小尺寸表盤，適配緊湊設(shè)備安裝場景，機身小巧同時具備多項可靠性能。

? 高潔凈配置：接液部件采用電解拋光316L不銹鋼，膜片表面粗糙度＜0.5μm Ra，能有效減少氣體吸附與顆粒物析出，滿足Class 100/ISO Class 5潔凈室使用標準，適配高端芯片產(chǎn)線潔凈管控要求。

? 氦檢工藝：每臺雅斯科HPX28超高純袖珍壓力表出廠前均通過氦氣密封性檢測，泄漏率低至 1×10?? atm cc/s。針對易燃、有毒特種工藝氣體，從結(jié)構(gòu)層面減少泄漏隱患，保障車間人員與設(shè)備運行安全。

? 通用標準化接口：搭載9/16-18UNF 公/母旋轉(zhuǎn)式過程接頭，兼容行業(yè)通用VCR?接頭，適配多樣化管路設(shè)計，無需大幅改造即可快速完成裝配。

ZT61數(shù)顯壓力變送器

針對需要本地讀數(shù)、遠程自控的產(chǎn)線工況，雅斯科ZT61超高純數(shù)顯變送器適配性出眾。其配備 1.125 C-Seal或W-Seal平面密封接口，可配套 IGS 設(shè)備、高純氣面板、VMB 閥門匯流箱配套部署。

? 多檔精度可選：雅斯科ZT61 數(shù)顯壓力變送器綜合測量精度（含線性、遲滯、重復(fù)性誤差）提供 ±0.5%、±0.75%、±1.0% 滿量程三檔規(guī)格，可結(jié)合制程精度要求靈活選型，合理規(guī)劃設(shè)備投入成本。

? 寬溫工作區(qū)間+可旋轉(zhuǎn)大屏：雅斯科ZT61 數(shù)顯壓力變送器工作溫度區(qū)間覆蓋-10℃~50℃，適配多數(shù)半導(dǎo)體車間工況；搭載可270°旋轉(zhuǎn)高亮LED顯示屏，儀表橫裝、豎裝、倒置安裝均可調(diào)整至合適觀測角度，現(xiàn)場讀取數(shù)據(jù)清晰直觀。

? 符合行業(yè)通用潔凈密封規(guī)范：整機滿足SEMI F19/F20 半導(dǎo)體高純材料規(guī)范，氦檢泄漏率低至5×10?12Pa?m3/s；出廠在Class 1超凈室完成三層獨立密封包裝，拆封后可直接裝配至核心UHP氣路，簡化現(xiàn)場裝配流程。

? 支持多類型信號輸出：支持4-20mA、1-5V、0-10V標準模擬量輸出，配備NPN/PNP開關(guān)量輸出，便于對接 PLC 上位控制系統(tǒng)，實現(xiàn)壓力數(shù)據(jù)遠程采集、高低壓自動連鎖保護，適配氣柜、VMB閥組一體化集成項目

相較于單一監(jiān)測設(shè)備，雅斯科HPX28+ZT61成套方案構(gòu)建了“就地目視巡檢+遠程智能監(jiān)控”的雙重防護體系，形成差異化核心優(yōu)勢。一方面，雙設(shè)備全系適配半導(dǎo)體ISO Class5潔凈室工況、SEMI行業(yè)規(guī)范，全流程氦檢管控，極致潔凈性能適配先進制程超高純環(huán)境；另一方面，機械表+智能變送器的組合模式，兼顧現(xiàn)場運維便捷性與產(chǎn)線自動化管控需求，既滿足人工日常點檢的高效性，又保障工業(yè)數(shù)字化系統(tǒng)的數(shù)據(jù)連續(xù)性與精準性。此外，小型化集成設(shè)計大幅節(jié)省氣柜與模組安裝空間，適配半導(dǎo)體設(shè)備高密度、集成化的發(fā)展趨勢，有效降低企業(yè)設(shè)備改造成本與運維難度。

業(yè)內(nèi)人士表示，先進半導(dǎo)體制程的核心競爭在于工藝穩(wěn)定性與良品率把控，超高純流體壓力監(jiān)測作為制程關(guān)鍵環(huán)節(jié)，是保障芯片制造品質(zhì)的“隱形基石”。雅斯科本次推出的成套潔凈監(jiān)測方案，精準直擊半導(dǎo)體UHP氣體系統(tǒng)核心痛點，以高潔凈度、高穩(wěn)定性、高適配性的產(chǎn)品特性，填補了緊湊型高精度成套監(jiān)測方案的市場空白。

未來，雅斯科將持續(xù)深耕半導(dǎo)體高端制造領(lǐng)域，聚焦超高純、高精度、高可靠的測量控制技術(shù)研發(fā)，持續(xù)迭代適配先進制程的成套解決方案，助力國內(nèi)半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)鏈完善制程管控體系，賦能芯片制造產(chǎn)業(yè)提質(zhì)增效、高質(zhì)量發(fā)展。